Анализ данных трёхмерной атомно-зондовой томографии методом проксимограммы

Метод трёхмерной атомно-зондовой томографии позволяет восстановить химическую идентичность и пространственное положение атомов, испарённых под действием электрического поля с острого металлического образца с местным радиусом кривизны менее 50 нм. Число зарегистрированных атомов может достигать примерно миллиона; им соответствует объём анализа около 20 нм × 20 нм × 200 нм (80 000 нм³). Такой объём данных позволяет выявлять микроструктурные особенности образца, например границы зёрен или межфазные границы, если их плотность достаточно высока. Сопоставление измеренных координат атомов с выявленными особенностями даёт возможность описать химическое окружение кристаллографических дефектов на уровне отдельных атомов. В статье представлен метод обработки данных для построения профилей состава вблизи границ раздела независимо от их геометрии. Этот подход применён для количественного определения сегрегации серебра на межфазной границе MgO/Cu(Ag).