Субмикрометровое формирование рисунка заряда в тонкоплёночных электретах

В тонкоплёночных электретах удалось сформировать рисунок захваченного заряда с субмикрометровым разрешением с помощью гибкого электропроводящего электрода. Штамп из полидиметилсилоксана с рельефной поверхностью, несущий золотую плёнку толщиной 80 нм, приводят в контакт с плёнкой полиметилметакрилата толщиной 80 нм, нанесённой на кремний, легированный донорной примесью. Импульс напряжения между золотой плёнкой и кремнием переносит заряд в областях контакта золота с полимерным электретом. На площади до 1 см² удалось сформировать рисунок захваченного заряда с разрешением лучше 150 нм менее чем за 20 секунд. Этот процесс представляет собой новый метод формирования рисунка и открывает возможности для высокоплотного хранения данных на основе заряда и высокоразрешающей печати.