Радиационные повреждения в просвечивающем и сканирующем электронных микроскопах

В обзоре рассмотрены различные виды неблагоприятного воздействия электронного пучка на органические и неорганические образцы при исследовании в электронном микроскопе: нагревание, электростатическое заряжание, ионизационное повреждение (радиолиз), повреждение вследствие смещения атомов, распыление и углеводородное загрязнение. Для каждого вида повреждения указаны способы его минимизации. С учётом новых экспериментальных данных авторы пересматривают два распространённых предположения: что степень радиационного повреждения пропорциональна дозе электронов и не зависит от диаметра пучка, а также что она пропорциональна количеству энергии, поглощённой образцом.