Оптические свойства металлических плёнок для оптоэлектронных устройств с вертикальным резонатором

Представлены модели оптических функций 11 металлов, используемых в качестве зеркал и контактов в оптоэлектронных и оптических устройствах: благородных металлов (Ag, Au, Cu), алюминия, бериллия и переходных металлов (Cr, Ni, Pd, Pt, Ti, W). Для описания свободноэлектронной и межзонной составляющих диэлектрического отклика металлов в широком диапазоне энергий от 0,1 до 6 эВ использованы две простые феноменологические модели: Лоренца—Друде (LD) и Бренделя—Бормана (BB). Результаты показывают, что для адекватного описания межзонного поглощения благородных металлов необходима модель BB, тогда как для Al, Be и переходных металлов обе модели хорошо согласуются с экспериментальными данными. Сопоставление с измерениями на структурах, в которых свет распространяется по нормали к поверхности, подтвердило, что предложенные модели оптических функций металлических плёнок в сочетании с матричным методом расчёта многослойных структур позволяют точно описать коэффициент отражения и изменение фазы при отражении на границах раздела полупроводник—металл, в том числе в случае металлических многослойных структур.