Обзор анализа деформации методом дифракции обратно рассеянных электронов

С момента автоматизации метода дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD) системы EBSD стали широко распространены в микроскопических лабораториях, работающих в области материаловедения и геологии, по всему миру. Популярность метода обусловлена тем, что он помогает исследователям изучать кристаллографические особенности микроструктуры. Значительный интерес вызывает применение EBSD для количественной оценки деформации на субмикронном уровне. Для использования EBSD при характеристике деформации важно понимать, какие возможности метод предоставляет на практике, а также лежащие в его основе допущения и ограничения. В этой работе представлен обзор современного состояния технологий анализа деформации с помощью EBSD. Сначала рассматривается влияние упругой и пластической деформации на отдельные картины EBSD. Затем анализируется применение карт EBSD для характеристики пластической деформации. Обсуждаются возможности и ограничения метода, а также чувствительность результатов к различным параметрам расчёта и построения карт.