Газовые сенсоры на основе оксидов металлов: чувствительность и влияющие факторы

Кондуктометрические полупроводниковые газовые сенсоры на основе оксидов металлов широко применяют и исследуют для обнаружения газов. Исследования показали, что процесс газочувствительности тесно связан с поверхностными реакциями, поэтому чувствительность материалов на основе оксидов металлов — один из ключевых параметров газовых сенсоров — изменяется под влиянием факторов, определяющих поверхностные реакции: химического состава, модификации поверхности и микроструктуры чувствительных слоёв, температуры и влажности. В этом кратком обзоре основное внимание уделено изменениям чувствительности кондуктометрических полупроводниковых газовых сенсоров на основе оксидов металлов под воздействием перечисленных пяти факторов.