Четырёхмерная сканирующая просвечивающая электронная микроскопия (4D-STEM): от сканирующей нанодифракции к птихографии и далее

Сканирующую просвечивающую электронную микроскопию (STEM) широко применяют для визуализации, дифракционного анализа и спектроскопии материалов с атомным разрешением. Благодаря последним достижениям в разработке детекторов и вычислительных методов стало возможным проводить эксперименты, в которых для множества положений зонда регистрируют его полное изображение — в пространстве дифракции или реальном пространстве. В статье рассматривается применение таких экспериментов 4D-STEM для получения виртуальных дифракционных изображений, картирования фазы, ориентации и деформации, измерения параметров структуры среднего порядка, толщины и наклона образцов, а также для методов визуализации фазового контраста, включая дифференциально-фазовый контраст, птихографию и другие методы.