Анализ долгосрочной эффективности химических фильтров в чистых помещениях на основе прогностической модели

Химические фильтры являются важнейшими устройствами для удаления газообразных загрязнителей в чистых помещениях. Однако концентрация при испытании химических фильтров слишком высока, чтобы отражать их работу в реальных условиях чистого помещения. В этом исследовании оценивали адсорбционные свойства химических фильтров двух наиболее часто используемых форм при разных концентрациях. Затем уравнение Ленгмюра и кинетическое уравнение Уилера — Джонаса были объединены для создания модели прогнозирования адсорбционной эффективности химических фильтров в реальных условиях. Прогнозируемые значения модели хорошо согласовывались с экспериментальными результатами, что указывало на высокую точность прогностической модели. Модель не требует определения микроскопических параметров адсорбента и может сохранять высокую точность при низких концентрациях. Также был представлен быстрый метод расчета срока службы химических фильтров. На основе этой модели общая стоимость использования химического фильтра с высоким содержанием углерода в чистых помещениях микроэлектронного производства могла быть снижена на 45% за счет уменьшения числа замен фильтра в течение 3 месяцев. Поэтому в чистых помещениях микроэлектронного производства следует предпочитать химический фильтр с высоким содержанием углерода фильтру с низким сопротивлением.